净化工程详细

南京晶曜科技12米超高半导体单晶炉无尘车间 2025年12月17日

在半导体与光伏装备制造领域，核心竞争力离不开微米级洁净环境的支撑。特别是对于半导体单晶炉等大型精密设备的研发，不仅要求极高的空气洁净度，更要求车间能够满足超高空间和大件设备吊装的特殊需求。

南京三道净化工程有限公司凭借在高端装备制造行业的丰富经验，为南京晶曜科技有限公司量身定制解决方案，成功交付了一座集12米超高空间与千级/万级分区洁净于一体的高标准无尘车间，为企业技术创新筑牢了坚实的环境基石。

(图注：半导体单晶炉等大型精密设备对洁净度和空间高度要求极高)

一、 项目挑战：高、大、精的定制化需求

南京晶曜科技有限公司成立于2015年，专注半导体设备、光伏设备及精密机械零配件的研发与生产。随着向高精密装备制造转型，原有的生产环境已无法满足要求。

项目核心难点：

1. 超高空间： 车间需满足半导体单晶炉等大型设备的安装、操作与维修需求，要求搭建12米高的超高洁净空间。

2. 大件吊装： 需预留专业吊装通道，解决大型、精密设备进场与调试的难题。

3. 分区高标： 研发与核心检测区需达到千级（ISO 6），其他区域达到万级（ISO 7）。

二、 核心方案：高规格搭建与全系统集成

针对项目挑战，南京三道净化制定了**“高规格搭建 + 全系统集成”**的定制化方案，细节拉满：

📌 主体结构：12米高与内置行车梁

• 结构保障： 车间主体采用75mm厚高品质净化彩钢板，搭建起12米高的超高洁净空间，保障结构稳固性与高密封性。

• 创新吊装： 创新设计内置行车梁结构 , 预留专业吊装通道。这一设计完美解决了单晶炉等大件、精密设备进场和精准就位的难题，大幅提升了车间的使用便捷性与安全性。

📌 分区净化：超高换气率与三级过滤

• 过滤架构： 暖通及空气净化系统采用初效 + 中效 + 高效三级过滤架构。

• 换气频率： 千级区域每小时换气次数高达60次以上，万级区域不低于30次，确保不同区域洁净度精准达标。

📌 防静电与安全配套

• 地面与防护： 地面铺设高品质环氧自流坪，具备耐磨、抗静电、易清洁特性。

• 电气安全： 电控工程与电气照明系统专项设计，选用防爆、防静电设备，照明亮度均匀柔和，无眩光干扰，适配精密装备生产的用电安全需求。

(图注：空气净化系统设计图，确保千级区域（60次/h）与万级区域换气次数精准适配)

三、 施工执行：交叉作业与零缺陷交付

施工过程中，南京三道净化团队严守高端装备行业净化工程规范，实行**“分区施工、交叉作业”**模式，在保障工程质量的前提下，高效推进项目进度。

• 细节把控： 墙面、吊顶采用无缝拼接工艺，角部圆弧处理，杜绝积尘死角。

• 全程可追溯： 每个环节均安排专业技术人员现场督导，材料进场、施工工艺、系统调试等全程记录可追溯，确保工程零缺陷交付。

项目圆满竣工后，经第三方权威机构检测，各项指标均达到设计标准。车间行车梁吊装顺畅，配套系统运行稳定，完全满足南京晶曜科技的研发与生产需求。

南京晶曜科技负责人表示：“南京三道净化的方案精准解决了我们的核心需求，特别是内置行车梁结构，为我们的高端装备研发提供了可靠保障，车间品质超出预期。”