净化工程详细

南京江北新区智能制造产业园声芯半导体 8000㎡无尘车间装修工程 2025年12月17日

项目概述
为支撑南京声芯半导体科技有限公司产能升级与工艺扩展，我司承接并完成了位于南京江北新区智能制造产业园的8000㎡无尘车间装修工程。项目按百级、千级、万级与十万级多等级洁净分区设计施工，覆盖声光电传感器、微显示光机模组等精密器件的生产全流程，提供受控、稳定的洁净环境，助力产品良率与可靠性提升。

设计依据与功能分区
工程严格遵循《洁净厂房设计规范》《电子工业洁净厂房设计规范》《建筑设计防火规范》等国家与行业标准，结合客户工艺文件与现场勘查结果，形成切实可行的设计与施工方案。平面布置将厂房划分为百级/千级/万级/十万级洁净生产区、洁净辅助区、设备机房、物料与成品仓储、办公管理区等功能单元。人员与物料动线分离，入口设有净鞋、洁净衣柜与初级消毒区，有效降低外来污染风险。

围护结构与净化通风系统
围护与内装采用密闭性高的彩钢板隔断体系，结合精细收口与密封处理，营造稳定洁净空间。净化通风系统配备大型鼓风机、新风与回风处理单元及多级过滤器组，确保送风洁净度与室内压差稳定控制。系统实现“上送下回”气流组织，空气流线经过计算优化，既满足颗粒清除又兼顾机台布置与人员作业需求。

环境参数与关键控制指标
项目在设计与调试阶段对核心环境参数进行精细化把控，主要指标包括：

• 压差：主车间与相邻房间压差≥5 Pa，洁净区间按等级设置更高压差，形成有效防护屏障；

• 风速与换气：百级区域平均截面风速维持在0.3–0.5 m/s，换气与气流组织确保尘埃迅速带出；

• 温湿度分区：生产车间控制在20–26℃、50–70% RH，测试区控制在12–23℃、40–85% RH，满足不同工艺对热湿环境的需求；

• 噪声与照度：噪声控制≤65 dB(A)，照度达到300 Lx，营造舒适安全的作业环境；

• 新风补偿：新风量按总送风量的10%–30%配置，既补偿排风又维持室内正压稳定。

工艺配套与特殊要求
针对半导体及精密声光电生产的特殊需求，项目同步完成多项工艺配套：

• 气源与气体系统：选用高纯度氮气并建立专用气路，晶圆吹干等关键工序用气纯度≥99.8%，并配备气体净化与泄漏防护措施；

• 高纯水与真空系统：包装与检测工序配套高纯水系统及真空设备，满足工艺对洁净介质的要求；

• 化学品与安全：化学品供应与废弃管理按规范配置独立通风与应急处置系统；

• 电气与控制：配电系统、UPS与自动化控制实现分区冗余设计，关键参数实施在线监测与报警，保障长期稳定运行。

施工难点与技术攻关
本项目在施工与调试过程中攻克多项关键难点：大型鼓风机与加压系统协同工作，确保“只出不进”的正压效果；空调与鼓风系统24小时联动，维持恒温恒湿；基于生产布局优化“上送下回”气流，减少回流区和涡流滞留；高纯气体与高纯水系统的接口、材料与密封性能经过严格审核与试验，确保满足半导体级别的稳定性与安全性。

质量验收与交付成果
工程竣工后，组织第三方权威检测机构对洁净等级、温湿度、压差、颗粒浓度、噪声及ESD控制等进行全面检测。检测结果显示，各项指标均满足设计要求与行业规范，车间已能适配声光电传感器与微显示模组等高精度生产工序。项目交付后，客户顺利开展设备安装与试产，产能与产品良率得到显著提升。